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SEMISHARE LCVD系列激光化学气象沉积修复系统  （点击图片放大） SEMISHARE LCVD系列激光修复系统 1.CVD工作原理：用金属材料连接在各种不同的制程材质上。修补断线，通孔以减少线缺陷，进而提高良率。 CUT工作原理：利用激光精密切割，熔接功能，修复短路，断线，以减少线缺陷，进而提高良率。 2.连线效果 成膜规格： 材质：Cr,Mo,W,Al 最小线宽：2 micron |
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