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质量流量计桌面小型500W等离子清洗机 供电电源 AC220V（AC110V可选) 工作电流 整机工作电流不大于3.5A(不含真空泵) 射频电源功率 500W可调 射频频率 40kHz 耦合方式 电容耦合 真空度 ≤30Pa 腔体容积 5L(内径 152mmX 深度 280mm) 载物规格 125mmX260mm 气体流量 0—50ml/min（其他量程可选） 气体路数 2 路质量流量计+精密流量控制阀 过程控制 自动控制 清洗时间 手动开关 开盖方式 铰链侧开式法兰 真空室温度 小于65°C 外形尺寸 450x450x250mm 冷却方式 强制风冷 标配 KF16真空管1米，kf16卡箍2个，不锈钢网匣1个，电源线一根，说明书一本，机械泵一台 |
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