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科研实验室小型高温样品镀膜设备 控制方式 7寸人机界面 手动 自动模式切换控制 加热方式 数字式功率调整器 镀膜功能 0-999秒5段可变换功率及挡板位和样品速度程序 最大功率 ≤1200W 最大输出电压电流 电压≤12V 电流≤120A 真空度 机械泵 ≤5Pa（5分钟） 分子泵≤10^-3Pa 挡板类型 电控 真空腔室 不锈钢腔体φ160mm x 160mm 样品台 可旋转φ62 （最大可安装φ50基底） 样品台转速 8转/分钟 样品蒸发源调节距离 70-140mm 蒸发温度调节 ≤1800℃ 支持蒸发坩埚类型 钨丝蓝 带坩埚钨丝蓝 钨舟 碳绳 预留真空接口 KF25抽气口 KF16真空计接口 KF16放气口 6mm卡套进气口 可选配扩展 机械真空泵（可抽真空 5分钟＜5Pa） 数显真空计（测量范围大气压到0.1Pa） 分子泵机组（可抽真空20分钟≤5x10-3Pa） |
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