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5MHz晶振片Sensor 晶振片是利用石英晶体的压电效应和质量负荷效应,采用AT切割,其振动频率对质量的变化极其灵敏,但却不敏感于温度的变化,具有精度高、灵敏度好等独特的优势,非常适合于真空薄膜淀积中的膜厚监控。 相关技术参数: 标称频率:5.000MHz 外形:2.5屈光度平凸 直径:Φ12.37 ±0.02mm 切型:AT切 谐振频率:4.995~5.005MHz 谐振电阻:≦20Ω 材质:Z料(Q值≥2x10-6) 电极膜镀层:铬-金(Cr-Au) |
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