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气体分流箱（VMB/VMP） VMB/VMP是将气体分成若干支路并供应到各个用气点的设备，一般安装在工艺设备附近。使用VMB/VMP系统，Hook-up管路将会变短，可减少气柜的数量，因此可大大减少投资和维护成本。 1） VMB功能： A） 设备单独供气稳定性高； B） 便于设备维护，保证管路清洁。 2） VMB特点： A) 功能齐全，操作简单，可完全满足制程之需要。 高安全性。带PN2管路吹扫功能，有调压措施，二次调压让压力更加稳定。 |
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