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PL Mapping快速扫描荧光光谱仪 PL Mapping快速扫描荧光光谱仪 NANOMETRICS RPM2000 1.可对半导体Wafer进行微区均匀性测量和表面分析 2.可测Wafer单点的PL光谱,并给出峰位、峰强、半高宽和 积分强度的数据 3.可进行膜厚和VCSEL特性的反射测量 4.波长范围:340~1700nm 5.波长精度:≤0.01um 6.最高分辨率:0.52nm |
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