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深圳市傲内电子有限公司
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德国进口等离子清洗机
Tetra-30/50-LF标准型规格参数
1.外形尺寸
W600mm × H1800mm × D800mm
2.等离子反应舱
30型:W305mm × H300mm × D370mm
舱体容量:约 33升
50型:W305mm × H300mm × D625mm
舱体容量:约 57升
3.射频频率
40KHz / 0-1000W 连续可调
4.控制系统
半/全自动控制,处理时间可调
5.电极和托盘
30型:1-6层电极和托盘 (可选择旋转舱体)
50型:1-8层电极和托盘 (可选择旋转舱体)
6.真空泵
二级旋片真空泵 最低抽速:16m3/h
真空泵可使用氧气O2
7.参数
停泵压力、处理压力、气体流量、稳定时间、
射频功率、处理时间、停止时间
8.供气系统
2通道气体针阀
9.电源:AC 400V/16A
联系方式
深圳市傲内电子有限公司
地址:深圳市宝安区石岩镇台湾工业区三重大厦B栋2楼
电话:
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