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蓝宝石晶体定向仪 YX-2D6通用型配置如下：（适用晶片、晶棒） 1、一侧GA测角仪能测晶体Φ2---Φ6英寸晶圆片；111,100, 211等角度；能测晶棒参考面110；OF等角度。蓝宝石A,C,R面等角度。 2、另一侧GC测角仪能测Φ2---Φ6英寸晶圆片111,100,211 等角度；能测晶棒Φ2---Φ6英寸,400㎜长晶棒端面 111, 100等角度。蓝宝石A,C,R面等角度。 |
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