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北京哲勤科技有限公司上海办事处
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PVA TePla微波等离子体去胶机
德国PVA-TePla微波等离子体去胶机（整机进口），性能稳定，去胶均匀。


典型应用：

去除光刻胶 Photo-resist stripping
去除残胶 Wafer descum
晶圆和衬底的清洁 Wafer and substrate cleaning
su-8灰化 Su-8 ashing
氮化硅、聚酰亚胺等的刻蚀 Etching of silicon nitride, pi, etc.

刻蚀钝化层 Etching of passivation layers
逆向分析/失效分析中的器件开封 Device decapsulation for failure analysis
微量分析中低温材料灰化 low temperature ashing of materials for chemical trace analysis

过滤器和薄膜的清洁 Cleaning of filters and membranes

规格参数：

2.45GHz风冷微波电源（0～600w可调），
石英或陶瓷腔体，
单批处理量25片，
最多6路工艺气体，
兼容8英寸及以下晶圆，
可选配法拉第桶。
外形尺寸：775×749×781 mm
联系方式
北京哲勤科技有限公司上海办事处
地址：浦东新区金港路333号禹洲金桥国际一期
电话： 请点击此处与厂家联系
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