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单晶定向仪 晶体定向仪是在标准定向仪基础上,针对单晶硅、蓝宝石、砷化稼等多种晶体设计,主要用于晶圆片、晶棒的测量，对管套、测角仪进行改进,显示器为外置式,样品台加装承重轨道,可测2---6英寸晶圆片,长400毫米,重30公斤的晶棒;主要测量晶面角度:110 、111 、 100 、511等及其它相关晶体的晶向角度。 |
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