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美国Brooks流量计 美国Brooks流量计 5850E / 5860E 智能型热式橡胶密封质量流量计/质量流量控制器 量程 10sccm-100slpm 操作温度5°- 65° 最大压力1500 psi 精度精度 ±1 F.S精度 ±1.5 F.S 输入输出 0-5VDC |
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