国内首台等离子体增强型化学气相沉积设备在上海下线-佳工网




国内首台等离子体增强型化学气相沉积设备在上海下线 1/10/2011

据报道，8日，中国首台代表国际尖端水平的薄膜太阳能电池关键生产设备——等离子体增强型化学气相沉积设备(PECVD)在上海张江理想能源设备公司成功下线。这台设备的研制成功和下线打破了薄膜太阳能电池设备市场一直被国外厂商垄断的局面。该设备采用了创新的超高频射频技术、精密的真空和温度控制技术、快速的自动传输技术以及多腔多片的反应腔系统等，大大提高了产能，其产品性能优于国际一流设备，但价格远低于同等的进口设备。据介绍，一片“1.1米×1.4米”的普通平板玻璃完成导电层覆膜后，进入PECVD反应腔，完成化学气象材料叠层结构的覆膜，厚度增加两个微米，即成为转化率可达10%的薄膜太阳能电池。