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| 三星正在开发手机相机使用的MEMS快门 5/16/2009 | |
 （点击放大）韩国三星电子（Samsung Electronics）目前正在利用MEMS技术开发小型数码相机用快门。该公司利用典型的MEMS技术在玻璃底板上形成了这种快门，有关技术已经在国际学会上发表。 这种快门为直径2.2mm的圆形，通过在玻璃底板上重复成膜工艺而实现。具体方法为，在玻璃底板上形成透明电极材料ITO（indium tin oxide），并在上面形成遮光膜。该遮光膜由36张具有10度角的扇形膜组成，36张膜形成一个圆形。36张扇形膜的圆周部被分别固定在ITO膜上，中心部则弯曲到上部。在该状态下，遮光膜不再遮光，快门便会“打开”。向ITO膜和遮光膜施加30V电压之后，二者之间产生静电，遮光膜便完全与ITO膜重合。在该状态下无法透光，快门便会“关闭”。 弯曲的遮光膜通过重叠两张薄膜实现。比如，重叠Al和SiN的薄膜。由于两种材料的应力不同，可通过调整二者的膜厚来控制应力，由此形成所需要的弯度。演讲者表示，除了学会上发表的内容之外，至少2009年内无法透露其他内容，也未表明是否可能达到实用水平。 某些情况下，数码相机可以不用快门。如果不用快门时，就需要在短时间（如10μs以下）内传输图像传感器所捕捉的图像数据。但是，1000万像素等高像素传感器的图像数据传输速度有限，每帧图像的传输时间较长。无法在不失真的情况下捕捉移动速度很快的图像。因此，高端机型需要具备物理遮光功能。如果利用机械式快门实现该功能，手机内置型小型摄像头的尺寸就会增加，而且成本上涨。因此，三星考虑利用MEMS技术实现上述功能，从而解决尺寸及成本问题。（记者：三宅 常之） | |
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