安川电机在SEMICON JAPAN展出双臂真空搬运机器人-佳工网




安川电机在SEMICON JAPAN展出双臂真空搬运机器人 12/8/2008

安川电机在“SEMICON JAPAN 2008”（12月3日～5日，幕张Messe会展中心）上公开了最重可搬运75kg（包括机器人手臂）的双臂真空搬运机器人。该机器人用于搬运有机EL面板，能够搬运2片蒸镀掩模和底板。原来的机器人有1只手臂，且最重只能搬运65kg。该公司将巨大的搬运机器人携入展区现场进行实际演示。其最大行程为2300mm，能够支持第四代底板尺寸。看到如此震撼的演示之后，不少参观者赞叹“搬运速度比想象的快很多”。彩色有机EL面板的制造工序一般使用金属掩模分别涂布支持RGB三色的有机EL材料。由于金属掩模较重，需要能够搬运较大重量的真空机器人。另外，为了在与液晶面板的成本竞争中取胜，也要求提高蒸镀装置吞吐量。此双臂真空机器人就是为满足这一要求而推出的。