NSK开发出清洁环境下高速直动驱动器-佳工网




NSK开发出清洁环境下高速直动驱动器 6/5/2006

日本精工（以下简称NSK）开发出了用于半导体制造工艺中，在清洁环境下使用的高速直动驱动器，并已开始销售。对于半导体、HDD、液晶等的制造，必须是要在没有灰尘、污垢的环境下进行。此产品采用了新的吸气结构，因此成功实现了高速驱动，并实现了商品化。产品的特长： 1、实现了清洁环境下BS致动器的最高速驱动在微粒直径为0.3um以上的灰尘在1ft3的空气中含量为30个以下的“10级”环境下，实现了1200mm/秒的速度驱动。 2、实现了简洁化和高负荷容量通过在支持驱动部位的线性导轨的构造优化，结构比以前产品小15%，但负荷容量增长了50%。这款清洁环境下高速直动驱动器将在2006年8月投放市场，NSK计划2007年实现4亿日元的销售额。