日本信号发布直径仅1厘米的6轴力觉传感器-佳工网




日本信号发布直径仅1厘米的6轴力觉传感器 12/2/2015

因使用MEMS技术的三维LIDAR而为人所知的日本信号公司开始涉足力觉传感器领域，发布了基于MEMS技术的“超小型6轴力觉传感器”，其中运用了该公司研发的电磁驱动式MEMS光扫描仪“ECO SCAN”的技术经验，主要用于机器人和计测仪器领域。超小型6轴力觉传感器利用半导体的压电电阻效应来检测应力。该传感器的外形尺寸为直径10.6mm、厚14.5mm，直径只有1日元硬币的一半。额定负荷方面，沿X、Y、Z三个轴方向各为±30N，沿各轴旋转方向为±30Ncm。反复精度在3％以下。检测灵敏度方面，轴方向为0.1～0.2mV/N，X、Y轴旋转方向为0.2～0.6mV/Ncm，Z轴旋转方向为0.2～0.3mV/Ncm。另外，日本信号还将广泛探索该传感器在机器人及计测仪器以外领域的用途，例如，利用该传感器实现医生触诊的自动化。该公司不久之后将开始提供该超小型6轴力觉传感器的样品，还将在12月2日于东京有明国际会展中心开幕的“2015国际机器人展”上展出。（记者：松元则雄，《日经机器人》）