在线工博会

田村制作所展出利用氧化镓制造的深紫外传感器 10/9/2014
日本田村制作所试制出了使用氧化镓(Ga2O3)的深紫外传感器,并在“CEATEC JAPAN 2014”(2014年10月7~11日,幕张Messe会展中心)上展出。此次为该传感器首次展示。据田村介绍,因带隙扩大至4.8eV,该产品可以检测出260nm的深紫外光。
在使用半导体的深紫外传感器中,有的产品使用AlGaN类半导体。与这些产品相比,新传感器的特点是,无需在氧化镓基板上进行半导体的外延生长,只需形成电极等,即可使其作为深紫外传感器发挥功能。
田村制作所还在其展区展示了氧化镓基板。包括已实现产品化的2英寸产品和4英寸开发品。这些产品设想用于LED用途。据介绍,该公司目前还在面向功率元件用途,开发6英寸产品,并已试制出6英寸氧化镓块状晶体。(记者:根津 祯,《日经电子》)

电脑版 客户端 关于我们
佳工机电网 - 机电行业首选网站