|
DAS Environmental Expert公司通过在工艺腔室的沉积过程以及之后的清洁阶段采用可靠的废气处理系统，确保当涉及太阳能模块制造业在批量生产时，生产设备维持长时间的正常运行并满足最佳的沉积质量的需要。由于a-Si/μc-Si CVD生产设备使用大量的SiH4、H2、NF3和TMB、PH3作为掺杂气体，但这些工艺气体都是自燃、易爆或者危害环境的。因此，DAS坚持工艺废气必须通过燃烧湿法洗涤处理，并利用静电除尘装置进行粉尘清除。
DAS同样为中国最大的薄膜太阳能ThinFab客户提供以上的解决方案。Oerlikon(现称TEL)KAI采用了DAS的UPTIMUM废气处理系统，该系统还可通过智能软件控制管理提供设备之间的备份，同时添加了EDC(静电除尘装置) 系统来收集处理废气中出现粉尘。DAS对废气处理装置的效率进行了超过1周的测量，结果表明其在去除效率(DRE)方面性能卓越。得益于强大密集的现场服务支持，使得DAS设备的性能提升了600%，将平均维护间隔时间延长到6个月以上。这再一次证明了DAS的废气处理系统可以顺利匹配工艺生产设备的维护周期。
DAS在中国薄膜太阳能行业有着的杰出表现。这项项目运行期间，DAS一如既往的提供迅速的响应反映时间和强大的现场服务支持。 该客户项目负责人说:“废气处理系统超长的正常运行时间和大于99%的除尘效率，帮助我们达成了制造流程中的质量和安全目标。”
废气处理系统UPTIMUM采用了燃烧/湿洗技术，针对不同行业内的CVD工艺生产设备进行优化，最多支持六个独立进气口。该系统可使用多种助燃气体和提供处理酸碱的不同湿洗方法。
EDC PLUS是一款静电除尘装置，用于处理诸如太阳能电池或平板显示器制造等行业产生的含有细小粉尘或气雾的废气，处理量可达270 m3/h。除尘装置可以显著减少细小粉尘排放，其微粒去除效率甚至可达99.9%，能有效防止排气系统堵塞。
|
