安捷伦科技公司日前宣布其B1500A半导体器件分析仪,业界领先的半导体参数分析仪增强了源表(SMU)和软件功能。
全新B1514A 50-μs脉冲中等电流SMU可在30V/1A范围内提供更快速的脉冲,并提供类似于示波器的视图。全新B1511B中等功率SMU以较低价格提供0.1 fA低电流测量功能,并配有可选的自动传感和开关单元。最新版EasyEXPERT 5.5软件使用超过300个现成可用的应用测试,支持手动操作,无需复杂编程即可实行远程测试。
安捷伦在八十年代初期推出了业界首款数字参数分析仪,一直以来不断为客户提供出色的参数测试性能与价值。在此基础上,全新B1500A能够表征IV(0.1 fA – 1 A/0.5 μV – 200 V)、电容测试(1 kHz – 5 MHz)和低至ns级的超快速脉冲/瞬态IV测量。
B1500A半导体器件分析仪的增强功能包括:
使用B1514A 50 μs脉冲中等电流SMU进行更快速的脉冲测量。增强型分析仪可以执行低至50 μs的脉冲测量,脉宽范围是传统SMU的1/10。此外,该仪器还提供广泛的源范围(高达 30 V/1A)和多种功能,以及电压/电流可编程性。脉冲IV测量通常用于表征目前先进的材料和器件。B1514A通过EasyEXPERT示波器视图监测实际电压和电流波形。借助这个特性,用户能够充满信心地验证脉冲测量设置,快速而简单地优化测量参数。
使用全新B1511B中等功率SMU与自动传感和开关单元,以较低成本进行低至0.1 fA的极低电流测量。这将会实现精确的低电流表征(例如漏电流),从而加快下一代器件的研发进程。
使用EasyEXPERT 5.5轻松完成器件表征。更新后的软件使用远程控制功能来执行内置的应用测试,通过图形用户界面控制开关矩阵,并能扩展应用程序库。它还支持B1514A 50 μs 脉冲中等电流SMU的示波器视图。EasyEXPERT是一款在Windows 7中运行、基于GUI的软件;它提供高效、可重复的器件表征,覆盖了交互式手动测量和半自动晶圆上测试。
Agilent B1500A半导体参数分析仪结合了全新B1514A和B1511B SMU模块以及EasyEXPERT软件,可以构成一个全面的器件表征解决方案,该方案具备多种功能、极高的测量可靠性、高效而可重复的测量。它支持所有先进的参数测试测量,可对器件、材料、半导体、有源/无源器件或任何其它类型的电子器件进行电气表征和评测。
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