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Busch DS系列真空泵运用于平板显示行业 3/5/2013

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伴随着提高能源使用效率和降低环境影响的挑战，平板显示制造行业对真空泵提出了日益严格的要求，包括提高真空泵的可靠性能，降低其安装和运行成本。真空泵在平板显示制造工厂内，处于隐形设备，不应该进入设备工程师的考虑范围内，然而真空泵性能却直接影响到主生产设备的运行。综合考虑诸多因素的重要影响，真空泵制造商在新式真空泵技术的开发方面投入了很大力量，以满足最终用户和设备商对真空泵的先进性要求。真空泵技术的发展不仅为用户带来出色的抽真空能力和可靠的工艺，而且在节能和环境友好性方面有出色的表现，同时模块化也为设备的集成带来便利。基于成熟的螺杆技术，Busch针对市场应用需求推出COBRA DS新型螺杆式真空泵，综合了智能化，集约化和节能化等性能。此真空泵系统采用模块化设计，带有一体式控制器，自身具备完善的工艺控制功能，可以通过各种参数和通讯，从而无障碍地与主系统通讯。 COBRA DS真空泵的核心部件螺杆式转子，其加工工艺经过数十载的技术沉淀和发展，经过各种苛刻工艺的测试，业已证明符合平板显示行业的要求。优化的螺杆式转子采用变螺距（Variable Pitch）设计，以及螺杆转子表面涂层使用性能卓著的抗腐蚀材料Tantal，此两项生产制造工艺可以确保真空泵应对强腐蚀的工艺，例如干蚀刻Dry Etch工艺。螺杆转子齿面间的微小间隙和较短输送气路，使其在抽粉尘、可凝性气体、多相混输方面性能表现突出。 COBRA DS系列真空泵采用业界通用的变频器方式及独特设计的HDM电机以实现驱动电机的节能性。相比传统电机功耗至少节约16.4%。众所周知，电机使用寿命周期内的采购成本：维修成本：电力消耗=2%：0.7%：97.3%。（图片）主设备Uptime和真空泵维护方面，COBRA DS真空泵系统成熟可靠，极少需要维护保养。而且维护成本有不可比拟的优势，主要体现在螺杆式转子的自然禀赋，单级阴阳螺杆的设计，组装部件少。相比多级真空泵而言，该型真空泵在加工和维修装配方面具有显著优势，例如零件数量少和间隙的调整简单。针对系统集成，Busch DS系列真空泵提供灵活便利的数据和通讯接口，可根据不同的技术要求和成本提供客户化的硬件和软件方案。相信如图所示的“真空泵运行图”功能可为客户的设备管理带来妙不可言的效果。（图片） Busch COBRA DS系列真空泵为满足平板显示行业客户的不同需求，已研发出多款产品，抽速从80m3/h至9000m3/h。此外，模块化设计也使其在备泵零件和备用真空泵管理方面优势明显，且易于现场故障维修更换操作。（图片） Busch DS系列真空泵在设计上秉承多年的工艺技术沉淀，在同类产品中具有最佳的抽真空性能，同时对水电气的能耗少，低噪音和低振动，结构简单，充分考虑到人、机、环境的和谐统一。


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