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| 探针台的选型方法 | |
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通常需要确定以下问题来确定探针台的选型：
1、最大需要测几英寸的晶圆或者器件？
2、 探针台机械精度要求多高？
3、 点测样品的尺寸规格为多少？100um*100um或60um*60um的pad，还是FIB制作的mini pad，还是ic内部的metal？
4、 最多需要几根探针同时去点测？
5、 是否会用到探针卡？
6、 光学显微镜的最小分辨率需要用到多少？
7、 显微镜方面，是否需要添加偏光片做LC液晶热点侦测？
8、 探针点测时，对电流的要求是否达到100fa或者以下？低电容的要求是否要做到0.1pf？是否有射频的需求？
9、 接驳的测试仪器接口有哪些？
10、测试环境时是否会需要加热或者降温？
11、对chuck的漏电要求怎样？是否需要添加低阻抗chuck？
12、是否需要防震桌？
13、若添置防震桌，是否有压缩空气？
7/25/2016 | |
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