氨气与氙气中氟化物杂质净除技术的研究与应用-佳工网




氨气与氙气中氟化物杂质净除技术的研究与应用

经过近十年的探索、研究与实践，在国内最先发现并确认了采用深冷法分离空气生产的氪气与氙气与氧气中存在着三种氟化物杂质。为净除这些有害杂质，研制出了一种专用净化材料和成套终端净化装置，这种装置可同时有效地将这三种利用其他…… 1/10/2005