在线工博会
返回

机器视觉在拉单晶硅过程中的应用
上海昊视信息科技有限公司
为节省流量，手机版未显示文章中的图片，请点击此处浏览网页版
HewSight公司开发的单晶硅棒实时监控系统，采用高分辨率CCD相机、配合专业的机器视觉检测软件，可对单晶硅生长的整个过程进行监控，为晶体的直径控制提供必要的技术手段。
1 测量方法
在单晶硅炉的观察窗外架设一CCD相机，辅以隔热护罩及滤镜，从斜上方对固态晶体与液态融液的交界处形成的光圈进行测量。
可根据用户的要求定制与控制系统进行数据通讯的接口，如：将监控软件嵌入到组态软件中，或将数据转化成数字或模拟信号传送给控制器。
2 技术规格
· 可对4、6、8、12英寸的单晶硅棒进行测量。
· 可自动对引晶——放肩——收肩——等径过程中的晶体直径进行测量。
· 可对坩埚中的液面高度进行测量。
· 可检测晶种（籽晶）与液面的接触状态。
· 测量精度 0.1 mm。（注：按标准相机配置，采集分辨率1392×1040；可根据用户要求配置相机。）
· 测量速率：每秒15个数据。

（图片）

3 算法特点
· 亚像素的边缘检测算法，精确检测出固液交界面的光圈上的点列。
· 高精度的椭圆拟合算法，可剔除晶癖线上的点、避免硅棒晃动的影响，准确的得到光圈的直径和中心。
· 采用FIR数字滤波器（Chebyshev最佳一致逼近）进行数据后处理，进一步去除由硅棒转动而产生的噪声，输出高信噪比的信号。
· 可根据用户需求定制特殊的检测项目。

（图片）

4 软件特色
1) 可任意增加新的检测品种，只需重新设置参数即可。
2) 产品配置可保存，程序运行时选择待测产品的型号即可导入其配置参数。
3) 可手动或自动保存图像，并可设定最大保存数。
4) 可对已保存的图像进行回放，并查看图像处理结果。
5) 在屏幕上直观的显示检测结果和状态信息，并可在不同的视图显示模式中切换。
6) 人机界面简单：只需大致调整处理区域并设置少量参数即可。
7) 参数设置具有密码保护功能。
8) 自动软键盘，方便触摸屏操作。
9) 程序界面显示当前产品型号。
· 产品选择

（图片）

· 图像参数设置

（图片）

（图片）

· 系统参数设置（力控组态软件通信设置）

（图片）

· 拉晶全过程

（图片）

（图片）

（图片）

（图片）

（图片）

（图片）

（图片）

（图片）

（图片）

（图片）

· 数据滤波

（图片）

6/26/2010

上海昊视信息科技有限公司 (点击访问)
电话：86-021-38821905
地址：上海市张江高科技园区科苑路201号一幢B408室
电脑版 客户端 关于我们
佳工机电网 - 机电行业首选网站