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tekscan压力分布分析系统在CMP中的应用
昆山创研科技陈博士

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Tekscan拥有世界最先进的接触压力量测系统。该系统准确、使用简便且成本高效。通过优质的服务明确客户的需求，并提供最优质的解决方案。 I-Scan系统是Tekscan旗下一款极强大的压力量测系统，提供晶圆CMP研磨时，晶圆压力分布的分析、显示、与及调整的工具。图是I-Scan在晶圆CMP研磨时的一个案例，将I-Scan超薄，无侵入性的传感器放置在抛光头和晶圆中间，晶圆的受力大小和均匀状况将在电脑荧幕上即时的显示，使用者可以即时的根据所得到的数据/影像对抛光头作调整，直至晶圆的受力均匀为止。大大的提高了晶圆制作的良率和节省研磨设备的调整时间。（图片） I-Scan可作静态或动态的分析，数据可以2维(图2)或3维（图3）的影像显示。从图上可以看出外围的受力比较小，图4是截面分析。（图片） I-Scan可以使用在单抛光头或的设备上，传感器可以根据客户的需求定制以配合多抛光头设备对晶圆作全范围的检测。 6/3/2010

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