离子氮化炉属低真空设备范畴，一般情况下，设备经过一段时间的使用，漏气情况多少会存在。在漏气较轻微的情况下，漏气一般不会对工件的氮化质量造成太大的影响（不锈钢系列除外），但如果设备漏气较严重，则漏气会影响到工件的氮化质量，必须予以检修。
真空设备的检漏相对来说是比较困难的，通常采用“分段”检查的办法，即一段一段的检查。
第一步：首先将炉体与供气系统分离，目的是分清漏气是由炉体造成的还是由供气系统造成的。
将进气管与钟罩分离，然后将进气接头处封死（可使用我所提供的专用堵头或真空封泥）。启动真空泵抽真空，抽到较高真空度（如30Pa左右或更高）后，关闭蝶阀，停顿一段时间（15-30分钟）后，观察设备的漏气情况。
第二步：在完成第一步工作后，若炉体漏气，则应逐个检查可能产生漏气的各密封部位（包括观察窗、充气装置、钟罩下部密封法兰面、底盘上的大密封圈、测压部分密封处、阴极部位密封处、蝶阀及抽气管道之间的联结法兰面等），直至炉体基本不漏气为止。
注意：在实施以下检查步骤时，要遵循“分段”检查法的原则，即一个步骤一个步骤进行，每完成一个检查步骤后，抽真空观察检查效果，如果漏气问题得以解决，则不再进行其它检查。否则，再依次做检查（检查步骤可乱序进行。）
1、检查观察窗的玻璃视镜是否破裂，若破裂则应予以更换。
2、检查观察窗上紧固玻璃视镜的内六角螺钉是否松动，若有松动情况，则应予以紧固，但一定要对称均匀紧固，且用力不得过大，以免压碎玻璃。
3、检查观察窗内外密封圈（白色）是否老化，若老化，则需更换新密封圈。
4、卸掉炉体底座上的自动充气装置，用沾汽油的干净抹布除去密封橡皮和充气密封面上的灰渣，重新照原样安装好。
5、检查炉体底盘上测压处的密封情况，紧固螺母若有松动予以紧固，若密封圈损坏应更换。
6、检查阴极部位的密封情况，紧固螺母若有松动予以紧固，若密封圈损坏应更换。
7、检查炉体钟罩底部密封法兰面，如有锈迹、凹坑等损伤应及时处理。（注意：每次吊起钟罩后，应放置于橡皮板、木方或其它柔软的支撑物上，以防损伤密封法兰面。）
8、检查炉体底盘上的大密封圈，如有损坏应及时修理或更换。（注意：每次吊起钟罩后，再次罩上钟罩前，先用干净毛刷将底盘及大密封圈上的灰渣除净，然后用沾汽油的干净抹布擦去密封法兰面及大密封圈上的灰渣，以防灰渣嵌入大密封圈中造成漏气。）
9、检查抽气硬弯管各联结法兰面的紧固情况，若有松动，应均匀紧固。若密封圈损坏，应及时更换。
10、检查碟阀内密封圈上是否粘有灰渣，若粘有灰渣可能造成蝶阀管不死而漏气。发现存有此种情况，应及时用沾汽油的干净抹布清理干净，然后涂上真空脂。注意：清理蝶阀密封圈时，切忌用汽油浸泡密封圈，否则密封圈涨大，蝶阀将无法开关。
第三步：在完成第一步的工作后，若炉体不漏气，说明炉体各个密封部位完好。接着再慢慢地打开蝶阀，此时可能出现以下两种情况。
1、真空度在打开蝶阀的瞬间有一微小的下降，但其后不再继续下降（即压升率在设备规定的范围内或压升率在工艺许可的范围内），则说明不锈钢抽气软管、电磁阀及其连接部位完好。
2、如果真空度在打开蝶阀后持续下降，则说明电磁真空带充气阀、抽气不锈钢波纹软管或软管两端的连接密封部位可能漏气。出现这种情况，可按以下程序检漏。
（1）首先检查波纹管两端的密封部位，若密封法兰松动应均匀紧固，若密封圈损坏应及时更换。
（2）然后检查电磁阀内的密封圈是否粘有灰渣，若粘有灰渣可能造成漏气。发现存有此种情况，可用沾汽油的干净抹布将灰渣清理干净。
（3）最后再检查波纹软管。检查可采用密封加压（压力为0.1MPa）的方法进行，加压后管体分段浸入水中，观察漏气部位。（加压时应避免波纹管伸长）
第四步：在完成前三步工作，已解决炉体漏气问题或确认漏气不是由炉体引起后，重新将第一步中与炉体脱离的进气管连接到炉体钟罩上（并保证接头处密封完好），先关死各流量计，再启动真空泵对炉体抽真空。此步骤的目的是检查供气系统的漏气情况。
若发现设备又存在漏气，可检查进气接头部分、气管、各种气源流量汇流三通各连接处的密封情况，直至漏气问题排除。
（1）检查进气管与进气接头和流量计出口接头处的密封情况，若怀疑漏气，接头处可用真空封泥密封。
（2）检查流量计能否关死。办法是堵死流量计的进口端，比较堵死与仅关闭流量计的漏气差异。如流量计关不死则需维修或更换。
（3）检查输氨软管是否漏气，若发现老化漏气，应予更换。
通常，完成上述几个步骤的检查后，炉体的漏气问题是可以解决的。
6/30/2005
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